• 功能

• 低壓1MPa以下
  焊接規(guī)范金屬墊片
  配件集成規(guī)格

• 調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)

• 針型

• 兼容氣體

• 7類(lèi)特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
  
  除外

• 標(biāo)準(zhǔn)流量

• ~60噸/分鐘

yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列

• 特點(diǎn)

  規(guī)范

  適用氣體	高純度氣體
  入口壓力	0.99MPa以下
  調(diào)節(jié)壓力	最大0.7MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa ）
  耐壓壓力	1.5MPa （入口側(cè)）
  簡(jiǎn)歷值	0.1
  工作溫度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa?m3/s?He （真空方式）
  質(zhì)量	約0.36公斤
  安裝方式	使用背螺釘安裝

• L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的塊式壓力調(diào)節(jié)器，專(zhuān)為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。 此外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的繼承者，流動(dòng)特性性能得到了極大的提高。

• 主體的焊接接頭規(guī)格也是節(jié)省閥箱空間的理想選擇。

• 流量約為之前產(chǎn)品L18系列的兩倍（相同的平面間尺寸）

• 隔膜外部密封使用金屬密封。